OPTM series 嵌入型

產(chǎn)品簡介
利用顯微微分光膜厚計OPTM series的高精度、微小光點，在線提供制作晶片圖案后的微小區(qū)域測量等膜厚信息。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-11-09

廠商性質：生產(chǎn)廠家

訪問量：632

產(chǎn)品咨詢 18117546256

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

光譜系統(tǒng)

光探測磁共振譜超快瞬態(tài)吸收拉曼光譜熒光光譜顯微缺陷膜厚半導體晶圓缺陷檢測儀高光譜測試系統(tǒng) 太陽能電池量子效率太陽光模擬器IV系統(tǒng) 顯微光電流成像系統(tǒng) 探測器光響應度系統(tǒng) 光譜變溫附件探針臺熒光系統(tǒng) 組合熒光系統(tǒng) 鏡頭透過率測試系統(tǒng) 漫反射率測試系統(tǒng) 反射、吸收率系統(tǒng) 成像亮度計標準燈參考輻射定標電致發(fā)光系統(tǒng) 常規(guī)發(fā)射光譜系統(tǒng) 共聚焦拉曼光譜儀

查看全部產(chǎn)品

顯微分光膜厚儀是結合顯微鏡與分光光度技術的高精度薄膜厚度測量儀器

顯微分光膜厚儀的智能化功能與操作體驗

顯微分光膜厚儀是一種高精度的測量儀器

中階梯光譜儀可以用于測量和分析物質的光譜特性和化學成分

詳細介紹在線留言

產(chǎn)品信息

特　點

●膜厚測量范圍1nm～92μm（換算為SiO2）

●膜厚值高重復精度

●1點1秒以內的高速測量

●最小小點Φ3μm）中瞄準模式

●最zui適shi合圖案晶片的膜厚映射

●能夠取得圖案對準用圖像

裝置組裝示意圖

OPTM series 嵌入型

測量數(shù)據(jù)示意圖

OPTM series 嵌入型

測量光點周邊圖像

OPTM series 嵌入型

適應過程示例

CMP工藝

蝕刻工藝

成膜工藝等

式樣

OPTM series 嵌入型

上海波銘科學儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學機械和光學平臺、激光器、Edmund 光學元件、Newport 產(chǎn)品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學測試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機、Semilab 半導體測試設備及高低溫探針臺系統(tǒng)。經(jīng)過多年的發(fā)展，上海波銘科學儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產(chǎn)品和服務在行業(yè)內具有較高的知zhi名度和美譽度，客戶遍布全國。我們將繼續(xù)努力，不斷提升市場地位和影響力。

上一個：Load Port對應膜厚測量系統(tǒng) GS-300